Декларация за поверителност: Вашата поверителност е много важна за нас. Нашата компания обещава да не разкрива личната ви информация на всяко разширяване с изричните ви разрешения.
Модел №: Sulfur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Вид плащане: L/C,T/T,Paypal
Сярна хексафлуорид CAS: 2551-62-4 SF6 99.999%
5N ЕЛЕКТРОННА СПЕЦИАЛНА ГАЗ
Използване на продукта
Сядният хексафлуорид е безцветен, без мирис, нетоксичен, не флораем инертен газ с молекулно тегло 146,07, точка на топене от -51 ° С и точка на кипене от -64 ° С. Молекулярната структура на серен хексафлуорид е подредена в октаедър, разстоянието на свързване е малко, а енергията на свързване е висока, така че стабилността му е висока. Електронен клас с висока чистота серен хексафлуорид е идеален ефорт. Сядният хексафлуорид може да се използва за оформяне на повърхността на силиций и отстраняване на органични или неорганични мембрани върху полупроводникови материали и може да се използва при производството на оптични влакна.
Спецификация на качеството
Items |
Units |
Index |
(SF6)Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
Oxygen+Argon(O2+Ar)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Nitrogen(N2)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Carbon tetrafluoride(CF4)≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
Carbon monoxide(CO)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Carbon dioxide(CO2)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Methane(CH4)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Moisture(H2O)≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
Acidity(以HF计)≤ |
μg |
≤0.1 |
Hydrolytic fluoride(以HF计)≤ |
μg |
≤0.8 |
Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
Приложение
Електронен клас с висок чист сярен хексафлуорид е идеален електронен ецващ агент, който се използва широко в областта на технологията на микроелектрониката, той се използва като плазмен ецване и почистващо средство при производството на големи интегрирани вериги като компютърни чипове и LCD. Сядният хексафлуорид се използва като източник на флуор за производство на стъкло, легирано с флуори при приготвянето на оптични влакна. В допълнение, серен хексафлуорид може да се използва и като изолационен газ, проследяващ агент и хладилен агент.
Опаковка 、 съхранение
Сядният хексафлуорид се съхранява в стандартни безпроблемни цилиндри, като цяло обемът на цилиндъра е 40L, типът на цилиндъра е CGA590 QF-2, а налягането на цилиндъра е 8,0MPa и 12,5MPa. Специфичните спецификации на опаковките могат да бъдат персонализирани според потребителските изисквания. Сядният хексафлуорид се съхранява в сенчест и вентилиран склад далеч от огъня и източника на топлина, температурата на склада не надвишава 30 ℃. Той трябва да се съхранява отделно с запалим (горим) и окислително средство. Зоната за съхранение трябва да бъде оборудвано с аварийно оборудване за аварийно.
продуктови категории : Полупроводникови електронни химически материали > Електронен специална газ, съдържащ флуор
Мобилен сайт
Декларация за поверителност: Вашата поверителност е много важна за нас. Нашата компания обещава да не разкрива личната ви информация на всяко разширяване с изричните ви разрешения.
Попълнете повече информация, така че да може да се свърже с вас по -бързо
Декларация за поверителност: Вашата поверителност е много важна за нас. Нашата компания обещава да не разкрива личната ви информация на всяко разширяване с изричните ви разрешения.