 НачалоПродуктиПолупроводникови електронни химически материалиПолупроводници/материали за офорт на вафлиC4F6 HEXAFLUORO-1 3-бутадиен 4N Чип ецващ агент

Свържете се с доставчика

Mr. Edward Xu

Остави съобщение

Свържи се, сега

Може да ви хареса

Xenon Difluoride XEF2 за ецване на полупроводници Свържи се, сега

Schwefeltetrafluorid SF4 2n за плазмено офорт Свържи се, сега

C3F8 Octafluoropropane High Purity Vaching Materials Свържи се, сега

Водороден флуорид HF височина чистота Свържи се, сега

Йодотрифлуорометан 99,99% 4n cf3i висока чистота Свържи се, сега

Перфлуоропропан полупроводниково ескант C3f8 Висока чистота 5N Свържи се, сега

C4F6 HEXAFLUORO-1 3-бутадиен 4N Чип ецващ агент Свържи се, сега

NF3 азотна трифлуорид висока чистота Свържи се, сега

 

C4F6 HEXAFLUORO-1 3-бутадиен 4N Чип ецващ агент

$500

≥100
Gram

Вид плащане:

L/C,T/T,Paypal

Инкотерм:

FOB,CIF,DDP

Мин. Поръчка:

100 Gram

Свържи се, сега

Описание на продукта

Възможност за доставк...
Опаковка & доставка

< >

Overview

Възможност за доставк...

Вид плащане: L/C,T/T,Paypal

Инкотерм: FOB,CIF,DDP

Опаковка & доставка

Продажба на единици:: Gram

C4F6 CAS: 685-63-2 Hexafluoro-1 3-бутадиен 99.99% 4n

Чип ецващ агент

Използване на продукта

Hexafluoro-1,3-бутадиен (C ₄ F ₆ ) е вид безцветен, без мирис и воден неразрешен газ. При нормална температура и налягане точката на топене е 132,0 ℃, точката на кипене е 5,9 ℃. Хексафлуоро-1,3-бутадиен е вид конюгирани олефини, които съдържат шест флуорни атома и две въглеродни-въглеродни двойни връзки, като вид отличен Ечтален газ, поради уникалното си съотношение f/c, хексафлуоро-1,3-бутадиенехас по-висока селективност на офорт, точност и съотношение на страните от тези на традиционния перфлуориран наситени флуорокарбони за оформящ газ, хексафлуоро-1,3-бутадиен може да отегне по-малко от 100 nm Още по -тясна електронна верига. В допълнение, C ₄ F ₆ има по -високо селективно съотношение на фоторезист и силициев нитрид от това на C ₄ F ₈ , което може да подобри стабилността на офорта, скоростта на офорт и еднаквостта и по този начин да подобри качеството на продукта.

Параметър на продукта

Items	Unit	Index
C₄F₆	Vol.%	≥99.99
N₂	Vol.ppm	≤10
O₂+Ar	Vol.ppm	≤2
H₂O	Vol.ppm	≤3
CO₂	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Приложение

Използва се като ецващ газ за плазмено офорт на полупроводникови продукти.

Опаковане и съхранение

Hexafluoro-1,3-бутадиен е запълнен в стоманени цилиндри с модела на B10, размер 14cm × 83 cm, вътрешен обем от 10.1L, брутно тегло от 14,7 кг, полезен товар от 10 кг. Спецификациите на опаковките могат да бъдат персонализирани според изискванията на клиентите.

продуктови категории : Полупроводникови електронни химически материали > Полупроводници/материали за офорт на вафли

Горещи продукти

Изпратете имейл до този доставчик

*Предмет:
*Да се:

Mr. Edward Xu
*електронна поща:
*съобщение:

Вашето съобщение трябва да бъде между 20-8000 знака